碳化硅悬臂浆的用途有哪些？碳化硅悬臂浆有哪些设计特点？

　　碳化硅悬臂桨，也称为碳化硅棒反应烧结碳化硅悬臂浆料，是半导体晶片装载系统的关键部件。悬臂浆料性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆加载力大，适用于机器人自动加载和搬运系统。小编今天想来跟大家一起分享一下碳化硅悬臂浆的用途以及碳化硅悬臂浆的设计特点。

　　一、碳化硅悬臂桨的用途

　　1、碳化硅悬臂浆料主要用于光伏行业。光伏新能源产业用碳化硅悬臂梁浆料的主要规格有2378毫米、2550毫米、2660毫米等

　　2、应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中，对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用

　　3、碳化硅悬臂桨浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统

　　4、由于碳化硅悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能

　　5、碳化硅悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物

　　二、碳化硅悬臂桨的设计特点

　　1、在高温环境下不变形，晶片装载力大

　　2、耐极冷急热，使用寿命长

　　3、悬臂浆热膨胀系数极小，极大地延长了维护清洗的周期

　　4、碳化硅悬臂桨大幅减少污染物

　　以上就是小编这次为大家分享的关于碳化硅悬臂浆的相关内容，希望能帮助到大家，大家如果还有其他疑问欢迎随时联系我们。